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用于半导体行业的冷水机 -温控冷却装置
来源: | 作者:弘星 | 发布时间: 2023-03-23 | 535 次浏览 | 分享到:
半导体专用冷水机主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的的制冷循环装置,属于生产过程中的温控装置,研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了冷水机的稳定性、控制精度和响应速度。

      半导体制造工序多, 产品广泛用于光伏太阳能电池、LED.集成电路等行业,涉及的设备有氧化炉、单晶炉、PVD(物理气相沉积)、PECVD、MOCVD、光刻机、胶水显影机、干法蚀刻机、化学机械抛光机、晶圆贴合机、清洗机、离子注入机、减薄机、扩散炉、切割机、研磨机、引线键合机和塑封压机。




      半导体专用冷水机主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的的制冷循环装置,属于生产过程中的温控装置,研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了冷水机的稳定性、控制精度和响应速度。


机组设计参数


温度调节范围:-30℃-80℃,温度控制精度:≤±0.5℃,


流量调节范围:0-200L/min,流量控制精度:±0.2L/min,


压力调节范围:0-500kpa, 压力控制精度:±2kpa


1. 系统稳定可靠:核心部件选用国际知名品牌,可靠性高、噪音低,24小时连续运转设计。


2.先进控制技术:采用微电脑版控制器,实现全自动智能化控制,系统水温,水流,故障信号报警直接显示,多种精度可以选择±0.1℃、±0.5℃等)


3.多重安全防护:超温保护 、电流保护、水流报警、水位报警、压力报警、缺项保护、逆相保护、电机过载等。


4.可接受客户非标制作,仪器尺寸、流量、温控精度,压力等,可选配RS485(CAN或以太网)通讯接口并提供通讯协议


      弘星制冷是一家集制造、研发、销售为一体的冷暖系统整体解决方案服务商,公司秉承为客户提供高性能解决方案。公司引进优秀技术人才,开展研发制造,机组温度范围-80℃-300℃,精度控制范围可达±0.1℃,流量精度控制在0.5L/min等。产品涵盖冷热测试系统、热管理系统、防爆冷水机组、变频冷水机、大温差冷水机、双温双控冷水机、复叠式低温冷冻机、螺杆式冷水机。应用于生物制药、石油化工、食品加工、新能源、新材料、集成电路、实验仪器等行业。目前与多家公司形成了稳定的供货协议,为诸多行业TOP10企业提供完美的解决方案。